이 기사는 2025년 06월 10일 15시38분 thebell에 표출된 기사입니다

한화그룹의 로봇 계열사 한화로보틱스가 SK그룹 자회사 SKC 측에 무인운반로봇(AGV)을 공급했다. 유리기판 운반에 특화된 장비로 추정된다.

반도체 산업에서 두 그룹간 밀월 관계가 깊어지는 모양새다. 앞서 SK하이닉스는 한화세미텍으로부터 고대역폭메모리(HBM) 제조용 열압착(TC) 본더 장비를 주문했다.

10일 업계에 따르면 한화로보틱스는 지난해 하반기 SKC 자회사 앱솔릭스에 AGV를 공급한 것으로 뒤늦게 확인됐다. AGV는 무인운반로봇으로 팹 내 유리기판 등을 옮기는데 활용될 것으로 보인다.

한화로보틱스는 경쟁사들과 달리 반도체 산업에 특화된 AGV를 개발 및 생산하고 있다. 웨이퍼 프로덕션 타입과 글래스 패키징 타입의 AGV가 대표적인 사례다. 이중 글래스 패키징 타입 AGV는 다수의 유리기판이 적재된 카세트를 공정 간 이송하는 역할을 한다.


AGV 도입은 최근 반도체 산업에서 늘어나는 추세다. 삼성전자와 인텔 등 국내·외 종합반도체기업(IDM)도 후공정 팹 상당수 라인에 AGV를 활용하고 있다.

반도체 업계 관계자는 "삼성전자가 반도체 후공정 라인에 AGV를 도입한지 20년 이상 됐다"며 "신규 설계하는 팹의 경우 AGV 사용을 상정하고 팹 설계를 진행한다"고 설명했다. 이어 "다만 AGV를 전공정 단계에서는 활용하지 않는 단계"라며 "파티클 이슈 등으로 후공정에 한해 AGV가 활용되고 있다.

한화로보틱스의 앱솔릭스 AGV 공급건은 회사의 대규모기업집단현황공시에도 나타난다. 회사는 지난해 9월 26일 이사회에서 '앱솔릭스 소규모 생산 시설(SVM) 라인 AGV 물류 운영 수주 프로젝트 관련 한화모멘텀와의 수주계약 체결의 건'을 상정해 가결했다.

앱솔릭스의 SVM에 공급되는 만큼 큰 규모의 계약은 아닐 것으로 추정된다. 업계에서는 글래스 패키징 타입의 AGV를 선공급했다는 것에 주목하고 있다. 시장 선점 효과를 노릴 수 있어서다.

로봇 업계 관계자는 "이번 레퍼런스를 잘 활용하면 삼성전기나 LG이노텍 등 유리기판 사업을 준비 중인 기업에도 AGV를 공급할 수 있을 것"이라며 "한화로보틱스 입장에서는 레퍼런스 차원에서 굉장히 중요한 계약"이라고 말했다.

한화로보틱스가 앱솔릭스에 AGV를 공급하면서 두 그룹 간 협력은 더욱 끈끈해지는 분위기다. 앞서 한화세미텍은 SK하이닉스와 고대역폭메모리(HBM) 제조용 열압착(TC) 본더 공급 계약을 체결했다. SK하이스는 당초 이 장비를 한미반도체로부터 대부분 공급받았으나 공급망 관리를 위해 HBM용 TC 본더 공급사를 한미반도체와 한화세미텍 2개사로 이원화했다.

이러한 협력 관계가 반도체 전공정 장비로도 이어질 것으로 기대된다. 한화세미텍은 잠재고객사로 SK하이닉스를 상정하고 원자층증착(ALD), 플라즈마강화화학기상증착(PECVD) 장비 개발을 진행 중이다.

한화그룹의 반도체 관련 사업을 삼남인 김동선 부사장이 지휘하고 있다는 점도 주목할 만하다. 김 부사장은 한화세미텍과 한화로보틱스의 미래비전총괄을 맡고 있다.